Mechanisch oppervlak is het vlak dat ontstaat door aftasting van het werk­stukoppervlak met een ideale tast­kogel en morfologische filte­ring.

Aftastprincipe is een meet­tech­nische methode voor twee­dimen­sio­nale registratie van een opper­vlak, waarbij een tast­systeem horizon­taal over het oppervlak wordt ver­plaatst door een aandrijf­inrichting.
(DIN EN ISO 3274)

Totaal profiel is het volgens het aftast­principe geregistreerde pro­fiel van het mecha­nische oppervlak. Het bevat als belang­rijkste opper­vlakteafwijkingen: vorm­af­wijkingen, golving en ruw­heid. (DIN EN ISO 3274)

Ruwheidswaarden worden, behalve de parameters die gedefi­nieerd zijn via sector­lengten lsc (zoals Rz, Rp, Rv), berekend over de ana­lyse­lengte le.

Aftastlengte lt is de lengte die het tast­systeem in totaal aflegt om het afge­taste profiel te registreren. Het is de som van voor­looplengte, ana­lyse­lengte le en naloop­lengte.

Nesting-index Nic (voorheen "basis­golf­lengte"), zie "Profielfilter".

Analyselengte le is het deel van de tastlengte dat geanalyseerd wordt.

Sectorlengte lsc (voorheen "partiële meetlengte") is een deel van de analyselengte. Ruw­heids­waarden als Rz, Rp en Rv worden geanaly­seerd over meerdere, opeen­volgende profielsectoren met lengte lsc.

Aantal sectoren nsc is het aantal sectoren dat gebruikt wordt bij de analyse van ruwheidswaarden als Rz, Rp en Rv; gewoonlijk zijn er vijf sectoren.

Voorlooplengte dient voor het stabi­liseren van het filter.

Nalooplengte dient voor het ver­vallen van het filter.